被譽(yù)為浸潤(rùn)式光刻機(jī)之父的臺(tái)積電前研發(fā)副總裁林本堅(jiān)接受媒體采訪的時(shí)候再次表示,中國(guó)大陸或許在沒(méi)有EUV光刻機(jī)的情況下研發(fā)出5納米工藝,利用現(xiàn)有的浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī)
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